对静电枪进行校验

各位高手，有谁知道怎么对静电发生器进行校验？标准上写的不太清楚，一定要用法拉第笼么？
标准上规定：验证时，放电电极头与电流传感器直接接触，不能直接用示波器的电流探头测试么？
使用电流传感器的话有什么要求？

这里设计几个方面的要点：
1、是否使用法拉帝笼。要用，不用的话，有些参数计量不了。
2、ESD的放电电流上升时间是0.7ns，一般的电流探头，目前上升时间最快的是3.5ns，根本测不出来；一般的电流探头是没有衰减的，用的是霍尔线圈，当ESD放电时，巨大的能量会损坏电流探头的。所以要使用专用的衰减棒，也就是你说的电流传感器。目前有这个衰减器的不多。
3、示波器带宽。需要选择使用3G以上带宽的示波器。否则测试不准。
如果你还有进一步问题，可以给我发邮件。xgwang@sz.ese.com.hk

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